半導體生產(chǎn)是一個高科技產(chǎn)業(yè)，但是在生產(chǎn)過程中也會產(chǎn)生大量的廢氣，這些廢氣對環(huán)境和人體健康都有一定的影響，因此必須進行處理。那么，在廢氣處理工藝中，哪種方式呢？本文將為您詳細介紹。

一、活性炭吸附法

活性炭吸附法是一種常見的廢氣處理方式，該方法適用于處理低濃度的有機廢氣。廢氣通過活性炭床層時，有機物質(zhì)被吸附在活性炭表面，從而達到凈化的目的。該方法具有投資成本低、操作簡單等優(yōu)點，因此在半導體生產(chǎn)中被廣泛應用。

二、等離子體處理法

等離子體處理法是一種高科技的廢氣處理方式，該方法適用于處理高濃度的有機廢氣。廢氣通過等離子體反應器時，通過高能電子的撞擊使有機物質(zhì)分解成小分子，再通過催化劑的作用進一步分解，終達到凈化的目的。該方法具有凈化效率高、處理能力強等優(yōu)點，因此在高端半導體生產(chǎn)中得到廣泛應用。

綜上所述，活性炭吸附法和等離子體處理法是半導體生產(chǎn)廢氣處理中的兩種方式。在選擇時應根據(jù)實際情況進行選擇，以達到的凈化效果。